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半导体芯片车间光刻胶挥发物异味人机共存的环保工程设备

半导体芯片生产环境的污染物(PMA丙二醇甲醚醋酸酯)从7ppm降到3ppm 的目标一直困扰着半导体芯片生产的企业,尤其是人机共存的问题;我公司近期攻克了这一技术难关,并突破了低温等离子体去异味时,实现人机共存的难题。想了解相关问题,请联系15811375105苏工。

半导体芯片加工厂的工业废气主要包含了硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气、氨气、硫酸雾等的酸/碱废气以及氮氧化物、二氧化硫、非甲烷总烃等的有机废气,具有挥发性的VOCs以及酸碱废气主要来源于对芯片的清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影过程中产生的,车间里这部分废气浓度较高。长期置身于这种环境,极大影响了工人的身体健康,所以去除车间异味臭气迫在眉睫。普通空气净化装置不能在人机共存前提下消除车间挥发性有机物和臭气;我们用的是低温等离子装置,可以实现人机共存!

产品名称:高能等离子去除室内异味和废气装置

原理:

第一段通过高能低温等离子体产生的电场,让异味分子带上负电;

第二段,一些带负电的异味分子接触带正电的电离板,产生过氧化氢,与其他异味分子反应,进而消除掉异味;

第三阶段:剩余的异味通过能自清洁的二氧化硅反应器,达到最大化净化异味废气的效果。

设备特点:

1、低温高能等离子杀菌除味技术,有效去除治理各环境中的异味、恶臭等废气问题;

2、自复活吸附材料催化净化杀菌除味技术,提高治理的能效!

3、高压放电臭氧控制技术,使之实现人机共存;

4、手持遥控器操控定时开关机技术,更便捷;

5、无耗材技术,无二次污染,降低了运营成本;

适用范围:

超洁净室电子、印刷、喷漆、制药行业人机共存异味处理;环卫行业臭气处理;污水处理厂臭气处理;养殖行业臭气处理;工业废气除臭设备;化工厂除臭净化设备;垃圾站空气除臭设备;等离子除臭设备;废气处理除臭设备;废气除臭处理设备;化工除臭设备;工厂除臭设备价格;厂房除臭设备厂家;低温等离子体除臭设备;工厂除臭设备;车间异味处理设备;车间除臭系统;车间除味设备;车间除异味设备;工业环保除臭设备;化工厂除臭设备;车间臭气处理;工厂臭气处理设备;车间除异味设备厂家;车间异味处理设备;半导体车间除臭设备;半导体车间除异味设备;

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